Белый плавленый оксид алюминия для пескоструйной обработки деталей из нержавеющей стали в оборудовании для производства полупроводниковых чипов.
Белый плавленый оксид алюминия (сокращенно WFA), также известный как электроплавленый оксид алюминия и обычно называемый в промышленности наждаком, имеет в качестве основной кристаллической фазы α-Al₂O₃ и твердость по шкале Мооса 9. Это специальный абразив для пескоструйной обработки компонентов из нержавеющей стали 304/316L, используемых в полупроводниковом оборудовании.
Обрабатываемые детали: прецизионные компоненты из нержавеющей стали, такие как вакуумные камеры для полупроводников, фланцы для сверхвысокого вакуума CF, кольца для подложек пластин, уплотнительные сердечники клапанов, испытательные стенды и узлы газопроводов. Функции пескоструйной обработки: удаление заусенцев, сварочных пятен и оксидных пленок, образовавшихся при обработке на станках с ЧПУ; получение равномерного и контролируемого матового покрытия; предварительная обработка поверхности перед последующими операциями шлифовки, полировки и нанесения покрытия.
2. Основные физико-химические показатели низконатриевого высокочистого белого плавленого оксида алюминия для пескоструйной обработки деталей из нержавеющей стали в оборудовании для производства полупроводниковых чипов.
- Al₂O₃ ≥ 99,5%
- Fe₂O₃ ≤ 0,05%
- Содержание Na₂O ≤ 0,25% (низкосолевой сорт для снижения загрязнения, вызванного осаждением щелочных металлов)
- SiO₂ ≤ 0,15%
Морфология зерен: равноосные зерна с острыми краями, хорошие самозатачивающиеся свойства; новые режущие кромки непрерывно образуются по мере разрушения зерен во время пескоструйной обработки.
3. Размеры зерен при пескоструйной обработке белого плавленого оксида алюминия для обработки деталей из нержавеющей стали в оборудовании для производства полупроводниковых чипов.
- Грубая пескоструйная обработка (удаление глубоких следов сварки и толстых слоев оксидной окалины): F60, F80 / 60#, 80#
- Высокоточная матовая пескоструйная обработка (основной метод для полупроводников, обеспечивающий получение тонких и однородных матовых поверхностей): F100, F120, F180, F240 / 100#, 120#, 180#, 240#
Более мелкий размер зерен обеспечивает более низкие значения Ra поверхности и более тонкую текстуру, что подходит для вакуумных компонентов с высокой степенью чистоты.
4. Основные преимущества белого плавленого оксида алюминия для пескоструйной обработки деталей из нержавеющей стали в оборудовании для производства полупроводниковых чипов.
-
Низкий уровень загрязнения : Сверхнизкое содержание железа исключает проникновение железа и изменение цвета поверхности после пескоструйной обработки, а также предотвращает загрязнение тяжелыми металлами в условиях производства полупроводниковых микросхем. Материал обладает превосходной химической инертностью, а также устойчивостью к кислотам и щелочам, а последующая ультразвуковая очистка легко удаляет остаточные абразивные частицы.Контролируемая текстура поверхности : острые угловатые зерна создают однородные, стабильные матовые узоры. Пользователи могут выбирать подходящие размеры зерен в соответствии с целевыми значениями Ra и избегать чрезмерной эрозии тонкостенных прецизионных компонентов из нержавеющей стали.Износостойкость и возможность многократного использования : высокая твердость и сбалансированная прочность минимизируют расход абразива. Зерно подходит как для сухой, так и для влажной пескоструйной обработки, обеспечивает возможность многократного использования и циклов пескоструйной обработки, а также эффективно снижает общие производственные затраты.