Высокочистый белый плавленый оксид алюминия, подвергнутый травлению, получают методом дуговой плавки порошка высокочистого оксида алюминия с последующим травлением, магнитной сепарацией и гидравлической классификацией. Он содержит Al₂O₃ ≥99,2% и имеет чрезвычайно низкое содержание примесей железа, натрия и тяжелых металлов, что предотвращает появление черных пятен на керамических подложках из оксида алюминия. Строгая классификация по размеру частиц предотвращает образование слишком крупных частиц, значительно снижая риск царапин на подложке при мокром шлифовании. Обладая твердостью по шкале Мооса 9, он обеспечивает стабильную производительность резки и подходит для мокрого шлифования в суспензиях на двухсторонних шлифовальных станках.
| Этап обработки | Европейский стандарт FEPA | Серия W (национальный стандарт микропорошка) | Японский стандарт JIS | Эталон D50 мкм | Описание процесса |
|---|---|---|---|---|---|
| Грубая шлифовка (удаление следов резки и утонение крупных заготовок) | F320 / F400 | W40 / W28 | 400#, 500# | 29-17 | Быстрое удаление следов резки и выравнивание подложек при удалении больших объемов материала. |
| Промежуточная шлифовка (коррекция параллельности и удаление поврежденного в результате черновой шлифовки слоя). | F600 / F800 | W20 / W14 | 600#, 800# | 9.3‑6.5 | Основной процесс массового производства; большинство электронных керамических подложек поставляются после этого этапа. |
| Тонкая шлифовка (снижение шероховатости поверхности для последующей полировки/металлизации) | F1000 / F1200 | W10 / W7 | 1000#, 1200# | 4.5‑3.0 |